Physik Instrumente（PI）納米定位 執行器

L-306·0111·00

緊湊型精密Z向位移臺，13毫米行程，20牛負載容量，步進電機 ，含3米成套電纜

L-306·0111·12

緊湊型精密Z向位移臺，13毫米行程，20牛負載容量，步進電機，帶A/B正交信號傳輸的線性編碼器，5納米傳感器分辨率 ，含3米成套電纜

L-306·.0131·12

緊湊型精密Z向位移臺，13毫米行程，20牛負載容量，直流電機，帶A/B正交信號傳輸的線性編碼器，50納米傳感器分辨率 ，含3米成套電纜

德國Physik Instrumente (PI) GmbH & Co.KG成立于1970年，一直致力于微米與納米定位技術的研發與制造。PI代表著技術性能，定位精度可達納米。PI可獲得的組件獨立于市場上，并提供超越現有技術水平的單獨解決方案。高度的靈活性為PI的客戶提供了顯著的競爭優勢。

Physik Instrumente (PI)主要產品：

線性平臺和執行器

電動旋轉平臺和測角器

XY平臺

六足/平行運動

訂購信息

N-565.160

精密線性定位平臺，行程為13毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅動力為10牛，尺寸為65 × 80 ×

20毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進驅動器

N-565.260

精密線性定位平臺，行程為26毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅動力為10牛，尺寸為65 × 110 ×

20毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進驅動器

N-565.360

精密線性定位平臺，行程為52毫米，PIOne線性編碼器，分辨率為0.5納米，驅動力為10牛，尺寸為65 × 160 ×

20毫米（寬 × 長 × 高），NEXACT壓電步進驅動器

帶有由電動機驅動的機械導軌的定位和運動系統是自動化過程中的核心組件。這正是PI miCos擁有其核心專業知識的地方。已經有廣泛的精密軸，適用于個人應用和OEM客戶。 PI miCos在Eschbach將PIMag®線性電動機，由PI開發的現代電動機（例如DC（BLDC），AC或步進電動機）集成到高精度，機械引導的
行程為80、170和250毫米
增量或式線性編碼器，多種分辨率
用于實現高負載能力的交叉滾柱導軌
無鐵芯或鐵芯線性電機
緊湊的橫截面：80毫米 × 25毫米
適應能力強
構造可實現需求的靈活適應。通過采用不同的行程、驅動器和測量系統，產品可同樣適用于技術復雜、臨界成本應用。XY組件也可實現

交叉滾柱導軌
對于交叉滾柱導軌，滾珠導軌中的滾珠的接觸點被淬火滾柱的線接觸取代。因此，它們的剛度明顯提高，需要的預載更小，這減少了摩擦并實現了更平滑的運行。交叉滾柱導軌還具有高導向精度和高負載能力的特征。力導向滾動體保持架防止保持架蠕變。

應用領域
工業和科研。半導體或醫學技術中的測量技術、光子學及精密掃描

PIMag磁力直接驅動
三相磁性直接驅動器在動力傳動系統中未使用機械零件，其可直接將驅動力傳輸至運動平臺，且無摩擦。驅動器可實現高速度和高加速度。

無鐵芯電機非常適合對精度有超高要求的定位任務，因為其不會與性磁鐵發生不良作用。這樣即使在低的速度下也能保持平穩的運行，同時，在高速狀態下也不會產生振動。避免了控制的非線性行為并且每個位置都很容易控制。驅動力可任意設定。

力和加速度需要在有限安裝空間內實現時，使用鐵芯電機。鐵芯設計使磁力，確保驅動器的高熱穩定性。

直接位置測量
以*的精度直接在運動平臺上進行位置測量，因此非線性效應、機械作用或彈性形變不會對位置測量造成影響

Physik Instrumente （PI） 直接位置測量 傳感器 實驗用

PI (Physik Instrumente) P-542.PD1 用于P-54x納米定位系統的培養皿支架，35 毫米 P-542.SH1 用于P-54x納米定位系統的顯微鏡載片支架

PI (Physik Instrumente) P-611.2S XY向納米定位系統，100微米 × 100微米，應變片傳感器

PI (Physik Instrumente) P-611.20 XY向納米定位系統，100微米 × 100微米，不帶傳感器

PI (Physik Instrumente) P-611.XZS XZ向納米定位系統，100微米 × 100微米，應變片傳感器

PI (Physik Instrumente) P-611.XZ0 XZ向納米定位系統，100微米 × 100微米，不帶傳感器

PI (Physik Instrumente) P-612.20L XY 向納米定位系統，130微米 × 130微米，孔徑為20毫米 × 20毫米，開環

PI (Physik Instrumente) P-612.2SL XY 向納米定位系統，100微米 × 100微米，孔徑為20毫米 × 20毫米，應變片傳感器

PI (Physik Instrumente) P-620.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統，50微米 × 50微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente) P-621.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統，100微米 × 100微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente) P-622.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統，250微米 × 250微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente) P-625.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統，500微米 × 500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente) P-628.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統，800微米 × 800微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente) P-629.2CD 精密PIHera XY向納米定位系統，1500微米 × 1500微米，直接位置測量，電容傳感器，Sub-D連接器

PI (Physik Instrumente) P-620.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統，50微米 × 50微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

PI (Physik Instrumente) P-621.2CL 精密PIHera XY向納米定位系統，100微米 × 100微米，直接位置測量，電容傳感器，LEMO連接器

Physik Instrumente （PI）線性平臺進口 N-565.360

  Physik Instrumente (PI)-P-613

  Physik Instrumente (PI)-P-630

  Physik Instrumente (PI)-P-712

  Physik Instrumente (PI)-P-725

  Physik Instrumente (PI)-S-330

  Physik Instrumente (PI)-S-335

  Physik Instrumente (PI)-S-340

  Physik Instrumente (PI)-U-523

  Physik Instrumente (PI)-V-408

  Physik Instrumente (PI)-V-741

Physik Instrumente（PI）納米定位 執行器